闪蒸干燥机专题站

      我们已经开发了超临界抵制在抵抗模式开发，用超临界流体干燥先后干燥器。在图案干燥的超临界流体的使用是^有效地防止图案崩溃，这是在小于100nm的关键尺寸的精细图案一个显著的问题。于执行~临界密钥抗蚀干燥是防止水的污染，由于在干燥器腔室的水分。这是因为，溶解在超临界流体中的水分引起图案变形，从膜溶胀造成的。作为一种技术，以防止水的污染，我们设计，其中超临界流体是近临界点发送加压至特氟隆涂覆的腔室压力控制的超临界干燥。

      闪蒸干燥机技术的基础上所取得的超临界抗蚀干燥器是用于下一代光刻的基本设备。在耐用外罩或发展中国家道路建设中使用水硬性胶结剂的是一种有效的技术，为此，有在不同的时间，并在世界各地的分散场所的要求。

闪蒸干燥机适应物料
 　　  
有机物：阿特拉津(农药杀虫剂)、月桂酸隔、苯甲酸、安息香酸、杀菌丹、草酸钠、醋酸纤维素、有机颜料等。
 　　  
染料：蒽醌、黑色氧化铁、靛蓝颜料、丁酸、氢氧化钛、硫化锌、各种偶氮染料中间体。
 　　  
无机物：硼砂、碳酸钙、氢氧化物、硫酸铜、氧化铁、碳酸钡、三氧化锑、各种金属氢氧化物、各种重金属盐、合成冰晶石等。
 　　  
陶瓷： 高岭土、三氧化硅、粘土等；
 　　  
食品：　大豆蛋白、胶凝淀粉、酒槽、小麦糖、小麦淀粉等。